Детектор для плазмы INFICON серия Sion RF дугового разряда, обеспечивает высокую скорость обнаружения дуги в iPVD, и для плазменного травления. Легко переоборудуется в существующий набор инструментов, высокая скорость сбора данных, а также интегрированное управление данными.