Давление измеряется с помощью газового разряда в измерительной головке, согласно которому газ зажигается путем применения высокого напряжения. В результате ионного тока выводится как сигнал, пропорциональный преобладающей давления. Эти датчики предлагают широкий диапазон измерений 10-9 до 10-2 мбар (0,75 · 10-9 до 0,75 · 10-2 Торр).