Система анализа газа INFICON, серии Transpector XPR3 предназначена для предоставления данных об уровнях загрязнения, дегазации, чистоты газа и эксплуатации оборудования. Информация может использоваться, чтобы максимизировать пропускную способность, уменьшить количество отходов за счет выявления и диагностики проблем. Увеличить время безотказной работы инструмента путем выполнения планово-предупредительных программ более эффективной и действенной.