Рентгенофлуоресцентный анализатор пластин PANalytical, серии 2830 ZT используется для анализа с дисперсией по длинам волн. Предлагает широкие возможности для измерения толщины и состава пленки. Разработан для производства полупроводниковых устройст, обеспечивая определение состава, толщины и однородность поверхности пластин.