Регулятор массового расхода Brooks Instrument, серии 5800-S компактная конструкция, используется для измерения и контроля газа. Высокая точность, повторяемость и устойчивость к изменениям температуры повышает производительность процесса. Поставляется с адаптивным алгоритмом управления, чтобы обеспечить быстрый отклик, надежный и стабильный контроль газа при изменяющихся условиях процесса.