Аналоговый тепловой регулятор массового расхода Brooks Instrument, серии 5850E с уплотнением из эластомеров. Используется для точного измерения и контроля газового потока. Обеспечивает надежное и точное измерение расхода даже при изменении условий работы. Это исключает необходимость постоянного мониторинга и корректировку давления газа, чтобы обеспечить стабильный поток газа.