Аналоговый тепловой регулятор массового расхода Brooks Instrument, серии 5853E/5863E с уплотнением из эластомеров. Используется для точного измерения и контроля газового потока. Исключает необходимость постоянного мониторинга и корректировку давления газа, чтобы обеспечить стабильный поток газа. Обеспечивает надежное и точное измерение расхода даже при изменении условий работы.