Тепловой массовый расходомер и регулятор массового расхода Brooks Instrument, серии GF100/GF120/GF125 предназначен для производства полупроводников, контроля устройств требующих высокой чистоты пути потока. Обеспечивает высокую производительность, надежность и гибкость. Независимая диагностическая функция позволяет устранять неполадки или изменения условий потока, не снимая регулятор с процесса.