Регулятор массового расхода Brooks Instrument, серии GF101/GF121/GF126 подходит для процесса и инструментов, требующих высокой чистоты управления газового потока. Обеспечивает высокую скорость потока, имеет прочное металлическое уплотнение потока и высокую герметичность.