Регулятор массового расхода Brooks Instrument, серии GF135 используется для производства полупроводников. Повышает производительность и безотказность работы с интегральным коэффициентом затухания измерения расхода. Современные возможности диагностики позволяют проверить точность, обратный клапан утечки, и отслеживать колебания датчика без остановки производства.