Цифровой регулятор давления Brooks Instrument, серии 5866E, 5866M с металлическим уплотнением, используется для точного измерения и контроля давления. Сердцем системы является полупроводниковый датчик давления, который вырабатывает электрический выходной сигнал, пропорциональный давлению.